科目名 マイクロ医用工学特論
単位数 2.0
担当者 医用情報科学専攻 教授 式田 光宏
履修時期 後期
履修対象 1,2年生
概要 マイクロ領域を扱う学問は,学際的であると同時に,次世代の基盤技術でもあります.本講義を通して,マイクロ技術を体系的に修得することを目的とします.
授業形態:講義
科目の到達目標 マイクロ領域における構造体・プロセス技術及びマイクロ技術を用いたマイクロ医用デバイス技術を修得することを目標とする.以下に具体的な到達目標を示す.
①マイクロ領域における物理現象を説明できる.
②マイクロ領域における構造体・加工プロセス技術を説明できる.
③マイクロ技術を用いたセンサ・アクチュエータ機構を説明できる.
④マイクロ技術を用いた医用デバイスを説明できる.
受講要件 物理学を履修していることが望ましい.
事前・事後学修の内容 マイクロ工学を体系的に修得することを目指して,本分野に関連する自然科学・工学・医薬学を予習・復習する.また講義配布資料・講義後に行う演習課題等もあわせて復習する.
講義内容 第1回 マイクロ工学(MEMS)の歴史
第2回 マイクロ生物機械
第3回 半導体デバイス
第4回 マイクロ工学の概要
第5回 マイクロ材料
第6回 マイクロプロセス:ホトリソグラフィー技術
第7回 マイクロプロセス:ウエットエッチング技術_加工特性
第8回 マイクロプロセス:ウエットエッチング技術_構造体作製
第9回 マイクロプロセス:ドライエッチング技術
第10回 マイクロプロセス:薄膜形成技術
第11回 マイクロ領域における物理及び設計
第12回 マイクロセンサ応用
第13回 マイクロアクチュエータ応用
第14回 マイクロ医用デバイス:医療用マイクロニードル
第15回 マイクロ医用デバイス:計測及び分析デバイス
評価方法 授業中に実施する演習から総合的に判定します.評価基準には,学生便覧記載の成績評価基準を適用します.上記の方法にて,講義内容をほぼ理解していることを確認し,それが達成していれば単位が認定されます.
教科書等 参考書:江刺 正喜,藤田 博之,五十嵐 伊勢美,杉山 進「マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス」(培風館)
参考書:藤田 博之「センサ・マイクロマシン工学」(オーム社)
参考書:Stephen D. Senturia「Microsystem design」(Kluwer academic publishers)
参考書:江刺正喜「はじめてのMEMS」(森北出版)
参考書:室英夫「マイクロセンサ工学」(技術評論社)

担当者プロフィール 授業内容や宿題などに関する,学生の個別学習相談を随時受け付けています.教員の所在は学内サイネージ等に掲示されていますので,確認の上,研究室を訪ねてください.
備考 【教職】高専修(情報)